微波真空干燥機(jī)分兩大部分組成：一是微波干燥部分，二是真空干燥部分。微波是具有穿透能力的電磁波。微波干燥利用的是介質(zhì)損耗原理，水是強(qiáng)烈吸收微波的物質(zhì)，因而水的損耗因素比干物質(zhì)大得多，能大量吸收微波能并轉(zhuǎn)化為熱能。物料中的水分子是極性分子，在微波作用下，其極性取向隨著外加電場的變化而變化，微波場以每秒幾億次的高速周期改變外加電場的方向，使極性的水分子急劇擺動(dòng)、碰撞，產(chǎn)生顯著的熱效應(yīng)。微波與物料的作用是在物料內(nèi)外同時(shí)進(jìn)行的，在物料表面，由于蒸發(fā)冷卻的緣故，物料表層溫度略低于里層溫度，同時(shí)由于物料內(nèi)部產(chǎn)生熱量，以致內(nèi)部蒸汽迅速產(chǎn)生，形成壓力梯度，因而物料的溫度梯度方向與水汽的排出方向一致，這就大大改善了干燥過程中的水分遷移條件，驅(qū)使水分流向表面，加快干燥速度。

真空干燥的機(jī)理是根據(jù)水和一般濕介質(zhì)的熱物理特性，在一定的介質(zhì)分壓力作用下，對(duì)應(yīng)一定的飽和溫度，真空度越大，濕物料所含的水或濕介質(zhì)對(duì)應(yīng)的飽和溫度越低，越易汽化逸出而使物料干燥。在真空干燥中，當(dāng)真空度加大，達(dá)到對(duì)應(yīng)的相對(duì)較低的飽和溫度時(shí)，水或濕介質(zhì)就激烈地汽化。水或濕介質(zhì)沸點(diǎn)溫度的降低，加大了濕物料內(nèi)外的濕推動(dòng)力，加速了水分或濕介質(zhì)由濕物料內(nèi)部向表面移動(dòng)和由表面向周圍空氣散發(fā)的速度，從而加快了干燥過程。

微波真空干燥設(shè)備技術(shù)綜合了微波和真空的優(yōu)點(diǎn)，由于加熱干燥的物料處于真空之中，水的沸點(diǎn)降低，水分及水蒸氣向表面遷移的速率更快。所以微波真空干燥既加快了干燥速度，又降低了干燥溫度，具有快速、低溫、高效等特點(diǎn)，也能較好地保留食品原有的色、香、味和維生素等，熱敏性營養(yǎng)成分或具有生物活性功能成分的損失大為減少，得到較好的干燥品質(zhì)，且設(shè)備成本、操作費(fèi)用相對(duì)較低。